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背景

FT型快速退火爐選型和技術(shù)參數(shù)

時間: 2019-03-07 12:58:37 瀏覽次數(shù):
FT型快速退火爐選型上可供參考的型號有:快速燒結(jié)爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐,進口快速退火爐,采用大功率紅外線輻射方式,配合腔體內(nèi)鍍金反射層,
       FT型快速退火爐選型上可供參考的型號有:快速燒結(jié)爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐,進口快速退火爐,采用大功率紅外線輻射方式,配合腔體內(nèi)鍍金反射層,使單片硅片快速升溫。降溫時紅外線燈管停止工作,大流量壓縮空氣(或冷卻氮氣)迅速帶走腔體內(nèi)熱量,實現(xiàn)快速降溫。
二、快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)(下述參數(shù)可根據(jù)需求調(diào)整)
1、外型形式:臺式,單片硅片
2、硅片尺寸:156*156方片,2-8寸硅片
4、額定工作溫度:1000 ℃
5、單點溫度穩(wěn)定性、重復性:±0.5 ℃
6、溫度均勻性:±1℃(900℃以上)
7、升溫速率:0 - 100 ℃/S 可調(diào)
8、降溫速率:0 - 100 ℃/S 可調(diào)
9、恒溫時間:0 - 600 S
10、加熱功率:18根(每根1.5KW)紅外線燈管,總功率27KW
11、鋁合金爐膛:鋁合金水冷鍍金爐膛,導熱性能好,有效提高降溫速率
12、石英爐膛:可拆卸結(jié)構(gòu),當爐膛內(nèi)被煙霧污染導致升溫速率降低時,可將石英爐膛拆下清洗
FT型快速退火爐選型和技術(shù)參數(shù)

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